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第104章 光刻机(1 / 1)

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“用是够用,但若是当做研发对象,那就不够看了。”说到这里,老爷子诡异一笑,说道:“我知道你烦我。其实我知道,很多人都烦我,但就算你们都烦我,我也要一心搞科研,为了我们的国家!最后告诉你个好消息。200纳米级的一代光刻机,老夫我已经拿下。只要配件齐全,我能马上给你造出来一台!”

“倪老……什么,您老再说一遍?!”乔扬刚想劝解,突然醒过味儿来,不由的惊问道。

倪光难一脸得意的笑道:“我就喜欢看你这种表情。是的,你没听错,第一代光刻机的制程技术,我们已经完全掌握。来,这是技术报告,你看一看。”

说着话,倪光难转身欲拿那有着两块砖头厚的材料。

乔扬忙拦住,说道:“您老就别羞辱我了,我可得能看得懂啊。”

随后乔扬正色问道:“哪怕您老再生气,我也得再问您一遍,因为这可不是小事情。您真的能生产出一代光刻机啦?”

倪光难是很是自信的说道:“你放心,老夫知道光刻机可不是儿戏,一个小小的偏差,可能上亿美元就毁了,所以我可以用生命向你保证,95年之前,只要配件齐全,我肯定能让你看到一代光刻机!”

未等乔扬说话,倪光难又抢话说道:“从经济效益方面来说,200纳米光刻机还是很有市场的,但若是从技术领先来说,眼下ASML的193无疑是……”

后面倪光难说的什么,乔扬根本没听,此时的他开始搜寻记忆中的亮点。

其实进入九十年代之后,光刻机的光源就已经被卡在193纳米,整整二十年!

直到林本坚的出现,才让光刻机的技术突飞猛进。

先说光刻机,

再说林本坚。

在林本坚出现之前,当时无论是尼康、佳能还是阿斯麦尔(ASML),都是用空气来当作光媒介。

但当光源的波长达到193纳米,就再也降不下去了。

此时光刻机的技术数据就定格在了波长193纳米,光刻辨别率70纳米。

这就是现在让倪光难激动万分的数据。

而倪光难不知道的是,就是这个数据,一直卡了光刻机发展20年!

在此其间,各路科学家想了无法的办法,就是突破不了这个数据,想让光刻辨别率再降1纳米,都是极大的奢望。

几年之后,当时间来到千禧年前后,绝大多数科学家都认为依靠193纳米波长,想要把光刻辨别率降到65纳米,那是根本不可能的。

这时很多科学家和企业,把眼光瞄向了157纳米波长的光刻技术。

但157纳米光波,有很大的局限性,否则它早就取代193纳米波,成为光刻机的主流。

原因是157纳米的光波太弱,绝大多数材质的光刻机透镜,都会强烈吸收157纳米的光波。

只有二氟化钙材质的透镜勉强可以使用。

但因为二氟化钙的材质有着诸多缺陷性,所以想要把二氟化钙研磨成光刻机透镜,难度不是一般的高。

不仅如此,二氟化钙的透镜不仅难以研磨成功,而且价格太高,并且使用寿命也很短。

总是要斥巨资去购买二氟化钙的透镜,但用不了多长时间就得换,这也令各大芯片厂商吐槽不已。

其实在林本坚横空出世之前,不是没有人提出过浸入式光刻原理。

1999年,就有专家利用环辛烷浸入液做过试验。

但因为对于环辛烷浸入液的填充,以及对于镜头的污染

、光刻胶的稳定性等诸多问题无法解决,让专家们很快就放弃了浸入法的选择。

就在这一年,在天劫功成名就的林本坚,回到了家乡海岛,加盟了著名的台积电。

因为当时的台积电是阿斯麦尔的股东之一,所以经常会去参加阿斯麦尔的会议。

在2002年的一场研讨会上,林本坚提出:“我们是否可以尝试一下浸入式方案呢?在我看来,在157纳米波长下,水是不透明的液体,但是如果波长换成193纳米的波长时,水在193纳米的光波下,折射率高达1.44,可见光就可以达到指数132纳米!”

“如果把水换成一种比较有可操作性的浸入液,重点解决掉浸入液的问题,那在现在十分成熟的193纳米光刻设备基础上,这种课题我觉得应该不是难题。然后我们还可以把157纳米的……”

当林本坚说完之后,阿斯麦尔的众大佬,立刻惊为天人。

他们不敢保证这个做法肯定可以,但确实是有很大的可操作性。

其实这不是林本坚第一次提出他的构想。

在此之前,他曾和尼康的提出过自己的疯狂设想。

而那时的尼康高层,已经完全否定了193纳米的可行性,正在努力钻研157纳米的干式光刻机。

在他们看来,芯片制程是需要真空无污染的环境,而水本身就是一种污染体,所以这种设想根本不成立!

阿斯麦尔却是不同,他们在认定林本坚这种设想的可行性后,立刻不惜重金,投入到了试验当中。

2004年,阿斯麦尔在烧钱如流水的情况下,终于成功的推出了浸入式的132纳米的光刻机。

而几年之后,尼康才研发出,他们用干式法研

制出的157纳米的光刻机。

关于光刻机方面的知识,又是某次酒后黄永平给乔扬灌输的。

当时两人聊起了天域的芯片产业,乔扬就很不解的问道:“我说老黄,我们就不能自己造芯片吗?非要从外国进口,还得处处受制。我觉得以我们国家现在的水平,造个芯片没多大问题吧?软件不行我认了,因为咱们起步晚,可硬件我觉得还好吧?”

黄永平因为和他是好基友,私下里从未拿他当老板,于是嗤笑一声,说道:“你懂个毛线啊。有技术不是万能的,你还得有设备才行。芯片又不是用手就能画出来的,那得需要光刻机!”

“说到光刻机,就不得不提到ASML。最早ASML就是飞利浦旁边的一个小破厂,实力和尼康、佳能没法比。但当时天劫为了抑制恶运国的科技产业力,于是就花重金支持荷兰的ASML……”

有了天劫的支持,再加上ASML会做事。

他也知道自家公司体量小,于是就和很多公司达成协议,配件都是在这些知名大公司采购,做到了有钱大家赚。

再加上自家的专家也够给力,所以奋起直追,在技术实力方面追上了恶运国双雄。

然后到了今年之后,就发生了前面说的内容。

ASML采纳了林本坚的设想,恶运国双雄开始花样作死,于是被ASML远远甩在了身后。

但因为光刻机的制造工艺太过复杂,而且需要的配件和技术实力实在是太高端,所以每年ASML能生产出几十台光刻机,那就已经是奇迹。

前面说过,现在的第二代光刻机,刚一问世才生产出两三台,你想想后来当光刻机发展到光刻辨识率达到10纳米之内,那制造

工序有多少繁琐。

往往降下去1纳米的光刻辨识率,可能就得多几百几千个高精度配件。

还有ASML荷兰的企业,而且他的股东众多,大多数都是欧美相关行业的巨头。

再加上台积电、联发、高通、博通、英伟达、三星、德州仪器、AMD等芯片巨头。

所以别看光刻机动不动就身价过亿,但ASML每年生产的光刻机,根本不够分的。

自家人都得提前个两三年预定,而且为了得到一台光刻机,几大巨头嘴炮不断的情况也屡见不鲜。

综上所述,天域的企业因为都是新生力量,和ASML没有很深的交情,所以很难从ASML那里得到光刻机。

这也让我国的芯片产业被大大的制约。

随着黄永平的讲解,乔扬对于光刻机的发展历程有了比较详尽的了解。

也就是从这次谈话中,他了解到了林本坚这个名字,了解了他其实不怎么懂的浸入法。

“卧槽,这个林本坚这么吊的吗?麻蛋的,这王八蛋还算不算天域人啊?!”听完黄永平的讲述,乔扬立刻把啤酒一摔,高声叫道。

“讲真,公平来说,你还真不能怨这个林本坚,毕竟人家是海岛人,大学又是在天劫上的,对于天域没有太多感情也可以理解。再者说了,就算他对天域感情深厚,不是我说,当时天域的光刻机水平啥也不是,连特么的193纳米还没突破呢,人家和你说什么浸入式有个毛用啊,你先最基本都还没达到呢!”黄永平还是比较理智的,很是客观的帮乔扬分析了一下。

“要说也是。那老黄,我问问你,啥叫浸入式啊?如果我们掌握了浸入式,是不是能改变光刻机的格局?”乔扬听完后不由问道。

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