由于背靠电气公司，现在不差钱的浦东微电子很是豪气的买了第一批光源设备。
友情价两千万夏元的EUV光源部件，下了三单，进行28纳米EUV光刻机研发。
首次合作，底价五百万夏元的DUV光源部件，在测试过性能和安全性这些环节之后，直接就订了十台，开始装机测试。
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《科技：打破垄断全球的霸权》第一百八十一章：小寒不寒，赤血沸腾 正在手打中，请稍等片刻，
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