1990年2月11日。
两天的时间,转眼就过。
IEEEMEMS会议的举办地,是吕贝克的特拉沃明德区。这个特拉沃明德区,也可以单独存在,被称为特拉沃明德市,是一个海滨小镇,著名的海水浴场度假地。
一大早,举办会议的展馆附近,所有的停车场全部爆满。
有一些车辆,是来参展的厂家,以及开车前来的个人。但大多数,则是听说有大新闻要发生,前来凑热闹的新闻媒体。
除了开车前来的,还有更多人是从周边城市,坐火车或者大巴等交通工具,前来的学生或者是科研工作者。
MEMS技术的影响力,已经扩散到,不仅仅是半导体领域的人在关注,其他行业的科研工作者,也开始正视这一个全新的加工方式。
会场内,穆勒教授宣布会议开始后,直接向观众介绍了下一个宣讲者,陈泉。
有重要论文即将宣布的消息,逐步扩散,会议组织者,凯瑟琳和公司领导一商量,干脆跟排在第一位的,柏林洪堡大學商量,把位置让了出来。
......
魏春雨端着一盒幻灯片,跟着陈泉的脚步,走上了不高的讲台。
他的身份既是助手,也是翻译,万一陈泉的英语出现问题,他会及时补救。
由于时间紧张,两个人连一次合练的机会都没有,只能靠在奥数竞赛期间,培养出来的默契了。
等魏春雨转过身,看到的是无数的照相机,数台摄像机,以及各种肤色,各种年龄,各种性别的洋人。
所有人,都在以期待的目光看着自己......以及自己身边的陈泉。
......
说所有人的视线都集中在魏春雨身上,其实不能算错。他是实际操纵幻灯机的那个人。
随着魏春雨把第一张幻灯片放到幻灯机的玻璃面上,第一张照片的投影出现在背后的幕布上,会场中立刻响起了热烈的掌声。
这张照片,就是曾出现在无数媒体上,被全世界人民所熟悉的,MEMS镊子夹住细胞的照片。
就是这张照片,将MEMS的热度,重新推向了世界级的高峰。
在场的所有人,其实都是这张照片的受益者。
陈泉在掌声中,没有说一句话,示意魏春雨换第二张。
第二张照片出现在幕布上的时候,全场安静了下来。
因为这也是一张,镊子夹着细胞的图片。
与上张照片不同的是,镊子的结构,与第一把热伸缩镊子,有了明显不同。
“此镊子利用的是静电引力。其原理是,在两个电极上分别注入电性相反的电荷,利用异性电荷电极板之间的吸引力,通过控制电荷数量来控制电极板的相对运动。”
陈泉终于开始讲解。
这张照片,是他原本准备拿出论文的一部分。
与热伸缩镊子的照片不同,新照片的拍摄,并没有花太大力气。
首先,大家的拍摄技巧,已经练出来了。其次,在镊子设计的时候,就考虑了止停点,让镊子不会一夹到底,不需要面对细胞被夹碎的问题。最后,没有了上S的压力,不需要精挑细选。
陈泉的话音刚落,场中再次响起掌声。但这次的掌声,明显弱了不少,更多是礼节性的。因为所有听众都知道,接下来,陈泉应该介绍,静电镊子的公式,技术细节等。
但魏春雨把幻灯片,又换了一张。
幕布上显示的是,一把完全不同于前两种结构的镊子,只不过少了中间的细胞。
但此时,在场的科研工作者,已经没有人去关心细胞了。因为陈泉开始了解释:
“这是把采用电磁力驱动的镊子。众所周知,通过电磁力,我们可以控制物体的前进方向。现在,我们的镊子,不仅仅可以闭合,而且可以张开了!”
听见了陈泉的话语,很多人都站了起来,向讲台靠近,试图看得更清楚一些。
热胀冷缩,以及静电吸引,是两种常见的结构。例如,世界上第一个微电机,用的就是静电吸引。
但电磁力出现在MEMS上,还极为罕见,也许根本就是独一无二。
.....
在陈泉的示意下,魏春雨很快换上了第四张幻灯片。又是一种全新结构的镊子,出现在众人面前。
“这个镊子,采用的是逆压电驱动。逆压电的原理是.....”
逆压电,也是种极为罕见的,MEMS执行器驱动方式。
.....
会场中的安静和秩序,被彻底被打破了。
所有人都明白,这四把镊子的出现,代表了什么。
四种不同原理的执行器,分别代表了执行器的四个不同发展方向。
静电模式的优点在于功耗低、响应时间短,宜于完成较高频率的驱动,而且静电驱动的结构比较易于实现。
科学界对静电驱动的原理,研究得最透彻。1988年的微马达,就是基于静电驱动原理。
热胀冷缩方式,功耗比较高,响应速度也不算快,但胜在结构最简单,优点和缺点,同样突出。
电磁方式的优点是有很高的输出转矩,既可以吸引也可以排斥,是一种比较有前途的驱动方式。它的缺点也非常明显,那就是结构复杂。因为,为了产生电磁力,需要制造微米级别的线圈缠绕。
在陈泉展示出照片之前,甚至只有理论,没有人见过实例。
逆压电模式,是人类最早研究的一种模式,因为压电传感器,在MEMS这个名字出现之前,就已经进入应用阶段了。
逆压电模式的优点很明显,压电和逆压电可以同时存在,执行器和传感器合二为一。
但通过逆压电来驱动,需要的电压极高,高到以1000伏为单位,在微米尺度,别的不说,处理好绝缘,难度就已经非常大了......
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一般来说,每一种驱动方式,都需要大量的探索和研究。
很多科研工作者,在选择驱动方式的时候,只能随机选择一种自己最有感觉的。
科研方向的选择过程,其实跟赌博没有两样。选择一旦出现失误,投入越大,损失就越大。
但现在,四个方向,四种不同结构和原理的镊子,四个成功的路径,同时出现在了世人面前。
......
如果说,陈泉的第一把镊子,把MEMS送上了新闻的风口,占了天时,那么这次拿出的四把镊子......